氦质谱检漏仪：
1、氦气的质量轻，易于穿过漏孔，进入系统时流动和扩散快，因此响应快，检漏灵敏度高。
2、氦离子质荷比小，因此可以减小磁分析器偏转半径的尺寸和选用较弱一点的磁场。真空箱氢气检漏设备真空打检机/真空检漏机采用声学技术，非接触式在线检测方式，速度800瓶每分钟。同时一阶氦离子的质荷比与一阶氢离子、二阶碳离子相差较大，利于离子分离，可以适当降低对分析器制造精度的要求，使质谱室中氦离子通过的各个缝隙，从而提高氦离子的传输率。
3、氦在空气中及残余气体中的含量少，在材料出气中氦气也很少，因此本底压力小，检漏时本底信号小。
氢气检漏设备
针对产品进行IP防水检测，可以通过两种仪器来实现，一种是防水测试设备，一种是气密检漏设备，防水测试设备是使用水来对产品进行不同防水等级的测试，来达到检测标准要求，而气密检漏设备是通过气压来模拟水压，实现对产品的密封性能的测试，不会损坏内部产品。由于氢分子移动速度要高于其他分子，因此使用安全的低浓度氢气作为示踪气体，可以有着更快的响应速度和更好的检漏精度。
气密检漏设备检测产品有两种比较直观的产品，一种是使用测试气管直接连接产品的充气孔(产品自带充气孔)，再进密性测试，即采用直接检测方法，另一种是将产品放置在仿形模具内(根据产品外形定制)，对仿形模具内腔进行充气，然后进密检漏设备。
氢气系统
氢气汇流排
发电机产生的热量通过氢气耗散，氢气的散热能力相当于空气的8倍。为了获得更加有效的冷却效果，发电机中的氢气是加压的。
氢气来自中央制氢站，通过软管与汇流排连接。减压阀将氢压减至所需压力，然后送到氢气控制装置再减压至发电机所需的压力。
二氧化碳汇流排
为了防止氢气和空气混合成性的气体，在向发电机充入氢气之前，必须要用二氧化碳将发电机内的空气置换干净。同理，在发电机停机排氢后，也要用二氧化碳将发电机内的氢气置换干净 。
氢气检漏
油雾法
油雾法的测试尘源为油雾，“量”为含油雾空气的浊度，以过滤器前后气样的浊度差别来判断过滤器对油雾颗粒的过滤效率。
德国规定使用石蜡油，油雾粒径为0.3~0.5微米。油雾法在检测过滤器时，容易对过滤器造成损伤，且不能直接读值，浪费时间。
DOP法
这种方法曾经是国际上测试过滤器海绵常用的方法。
它的测试尘源为0.3微米单分散相邻苯二甲酸二辛酯(DOP)液滴，也称为“热DOP”，“量”为含DOP空气的浑浊程度。
将DOP液体加热成蒸汽，蒸汽在特定的条件下冷凝成微小液滴，去掉过大和过小的液滴后留下0.3微米左右的颗粒，进入风道，通过测量过滤器前后气样的浊度，并由此判断过滤器对0.3微米粉尘的过滤效率。